雾化喷涂系统用于集成到真空室中。通过实验证明，独特的雾化喷涂系统设计可集成到真空封闭平台上，适用于聚合物气相沉积（PVD）和金属有机化学气相沉积（MOCVD）等应用。雾化喷涂系统产生的特征性低速雾化可产生具有紧密液滴分布和基于频率受控液滴尺寸的蒸气云。由于雾化喷头通过将高频声波转换为机械振动来工作，因此接触喷头表面的液体在不添加空气或气体的情况下被雾化，因此在喷涂过程中真空室的完整性不会被削弱。

　　集成到雾化喷涂系统中的发生器技术提供雾化所需的电能，并配备先进的负载均衡功能，可自动调整以适应不同的真空条件，从而在真空沉积过程中保持最稳定的喷涂特性。