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深圳恩乐科半导体芯片用二氧化碳发泡机CO2 bubbler二氧化碳加碳机超纯水电阻调节装置、超纯水防静电装置的主要用途: 一是芯片切割划片时带有静电,静电吸附了硅屑,清洗不干净。 二是清洗的产品本身有碱性物质,要在微酸性水中和才能去除,又不能有别的离子进入,所以需要注入纯净的CO2。配套划片机和清洗机.型号:ELK-500L、ELK-1000L ELK-2000L ELK-3500L ELK-5000LELK-7000LELK-100000L
超纯水防静电装置,又称co2 bubbler(二氧化碳发泡机、二氧化碳鼓泡机),去离子水电阻率调节装置,加碳机等等。其原理是向高电阻率的纯水中添加高纯二氧化碳, 在水中产生适量的离子增强纯水的导电性,降低纯水的电阻率,防止在划片制程、清洗等半导体、TFT加工过程中产生静电损伤产品,消除硅屑的静电吸附便于清洗干净, 最后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质,不造成二次污染。超纯水防静电装置和设备,可有效控制微电子工业生产制程中的静电危害,防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤, 防止静电破坏和微粒子的表面附着,大大提高产品良品率,降低生产成本。
本公司经过多年的研发和试验,生产ELK 系列超纯水防静电装置,本装置全部采进口优质材料和仪表,设计原理是通过膜接触器来实现超纯水的洁净CO2 无污染注入。膜接触器的特点是气体可以透析式穿过膜表面均匀溶解到水里,而水和微粒杂质却很难透过膜。用这种特制膜将CO2 气体和超纯水隔开, 通过设备中的精密调节装置可以控制CO2 在水中的溶解量, 从而实现精确控制水的电阻率。产品水的电阻率可以很方便且精确地调整到0.1-2MΩ•cm范围内。此产品可以消除产品表面产生的静电对产品造成静电吸附污染、静电放电损伤等危害,大大提高了产品的良品率。该产品广泛应用于微电子和半导体行业,价格只有进口产品的二分之一左右, 经过多家客户2年以上的测试评价, 结论是完全可以是替代进口产品。
1、微电路芯片切割和清洗2、光掩膜切割和清洗 3、晶圆切割和芯片清洗 4、半导体硅片切割和清洗5、太阳能电池片切割和清洗 6、TFT面板切割和清洗 7、特殊工业的控制超纯水电阻